アライメントマークとアライメント方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：韮澤弘 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223081
公開番号（公開出願番号）：特開平9-068705
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】ホログラムカラーフィルターと液晶表示素子の画素とのアライメントに適したアライメントマークとアライメント方法。【解決手段】ホログラムカラーフィルター等の主ホログラム13と同一基板11上に干渉縞あるいは回折格子から構成されたアライメントマーク14を設けて構成し、アライメントマーク14を可視化する方法を用いて液晶表示素子等のアライメント対象基板の対向アライメントマークと位置合わせをするので、アライメントマーク14を主ホログラム13の作製工程において同時に同様に形成することができる。また、アライメントマーク14を可視化する方法により、通常不可視のアライメントマーク14を容易に可視化でき、正確な位置決めが可能となる。

請求項（抜粋）：

ホログラム又は回折格子と同一基板上に設けられたアライメントマークにおいて、前記アライメントマークが干渉縞あるいは回折格子から構成されていることを特徴とするアライメントマーク。

IPC (2件)：

G02F 1/1335 505 , G03H 1/24

FI (2件)：

G02F 1/1335 505 , G03H 1/24

前のページに戻る