特許
J-GLOBAL ID：200903050695097959
走査電子顕微鏡
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大森 聡
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-061243
公開番号（公開出願番号）：特開平5-225940
出願日： 1992年02月14日
公開日（公表日）： 1993年09月03日
要約：
【要約】【目的】 導電性又は絶縁性の何れの試料であっても良好な観察画像を得る。【構成】 試料10の近傍に同心円状に検出電極8及び9を配置し、内側の検出電極8の開口部、即ち圧力制限開口3により電子銃室1aと試料室2aとを隔てる。検出電極8及び9には各々試料10の種類に応じた電圧を与え、試料10の種類に応じて、検出電極8の検出信号S1、検出電極9の検出信号S2、信号S1とS2との和信号又は信号S1とS2との差信号等を選択する。
請求項（抜粋）：
電子線源からの電子線を集束するコンデンサレンズと、該集束された電子線を圧力制限開口を通してターゲットに照射し且つ該ターゲット上で走査する走査手段と、前記ターゲットから発生する2次電子を検出する2次電子検出器とを有する走査電子顕微鏡において、前記2次電子検出器を前記ターゲットの近傍に互いに絶縁して複数配設し、該複数の2次電子検出器にそれぞれ前記ターゲットの性質に応じた電圧を印加する電源回路と、前記複数の2次電子検出器より出力される検出信号を前記ターゲットの性質に応じて処理する信号処理回路とを設けた事を特徴とする走査電子顕微鏡。
IPC (2件)：
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