特許
J-GLOBAL ID：200903050695334659
圧力センサ
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 隆久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-345391
公開番号（公開出願番号）：特開2001-165795
出願日： 1999年12月03日
公開日（公表日）： 2001年06月22日
要約：
【要約】 【課題】 圧力測定対象の温度に作用されない測定圧力精度を得ると共に、耐熱性圧力センサを得ることにある。 【解決手段】 圧力センサに於いて、光分波・合波手段3により光を2つの偏光成分に分波した光を圧力測定対象の圧力を受けた受圧ダイアフラム5の突出変形面の複数箇所に照射し、その各反射する光強度比から圧力を検知する。
請求項（抜粋）：
圧力測定対象の圧力を受けて受圧ダイヤフラム(5)の突出変形した反射面に分波した光を照射し反射した各光強度の光分波を演算処理して圧力を検出する圧力センサであって、光源(10)と、該光源からの出射光を案内する光導波手段(2)と、前記光導波路(2)に連結して前記光導波路(2)で案内された光を性質が異なる複数の光に分波して前記圧力測定対象の圧力を受けて突出変形した前記受圧ダイヤフラム(5)の反射面の複数箇所へ照射し、複数箇所から反射した反射光を受光して合波する光分波・合波手段(3)と、前記光分波・合波手段(3)で合波した光を前記光導波手段(2)により伝送して分岐する光分岐手段(6)と、前記光分岐手段(6)で分岐した光を分波させる光分波手段(7)と、該分波手段(7)で分岐した光を受光して、受光信号を信号処理して圧力を算出する受光・信号処理手段(8)とを有することを特徴とする圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01L 9/00 B
, G01B 11/16 Z
2F055AA40
, 2F055BB20
, 2F055CC02
, 2F055DD20
, 2F055EE31
, 2F055FF01
, 2F055GG11
, 2F055GG31
, 2F065AA00
, 2F065AA65
, 2F065BB01
, 2F065CC00
, 2F065DD02
, 2F065EE01
, 2F065FF49
, 2F065GG06
, 2F065GG07
, 2F065GG12
, 2F065GG23
, 2F065HH10
, 2F065JJ01
, 2F065JJ05
, 2F065JJ18
, 2F065LL00
, 2F065LL02
, 2F065LL12
, 2F065LL21
, 2F065LL33
, 2F065LL37
, 2F065LL46
, 2F065QQ23
, 2F065QQ26
