特許
J-GLOBAL ID:200903050703828089

積層セラミックコンデンサの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 森本 義弘
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-141613
公開番号(公開出願番号):特開平6-349673
出願日: 1993年06月14日
公開日(公表日): 1994年12月22日
要約:
【要約】【目的】本発明は卑金属を内部電極とする積層セラミックコンデンサを、焼成時の雰囲気コントロールなく大量に安定して製造する方法を提供するものである。【構成】卑金属を内部電極とする積層セラミックコンデンサの製造方法において、有機成分を除去する脱バインダ工程を、積層セラミックコンデンサ未焼結体中の誘電体セラミック層および卑金属内部電極層が焼結しない温度と卑金属内部電極層が酸化しない雰囲気で行い、その後卑金属内部電極層を還元するガスを含まない雰囲気中で誘電体セラミック層と卑金属内部電極層を焼結させる工程を有する。
請求項(抜粋):
卑金属内部電極層を有する積層セラミックコンデンサを、水蒸気10から70vol%、水素0.1から5vol%を含む不活性ガス中、400から700°Cの温度で脱バインダし、その後卑金属内部電極層を還元するガスを含まない雰囲気中で誘電体セラミック層と卑金属内部電極層を焼結させる工程を有することを特徴とする積層セラミックコンデンサの製造方法。
IPC (2件):
H01G 4/12 364 ,  C04B 35/64 301

前のページに戻る