焦電型赤外線検知素子およびその製造方法

発明者： , , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：倉田政彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-078752
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267644
出願日： 2000年03月21日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】焦電体基板への電荷の蓄積を回避してポップコーンノイズを低減し、大幅に検知信頼性を高めた焦電型赤外線検知素子を提供する。【解決手段】Z面を主要対向面に持つ単結晶タンタル酸リチウム基板の表裏両面に導電膜を対向させて赤外線感受部を形成した焦電型赤外線検知素子において、前記単結晶タンタル酸リチウム基板にクロムを添加する。そのために、単結晶タンタル酸リチウム基板をクロムを含有する平板で挟み込み、前記平板間に高電圧を印加することによって前記単結晶タンタル酸リチウム基板内にクロムを拡散せしめる。あるいは、焦電型赤外線検知素子の表裏の導電膜のうち少なくとも一方の面側の導電膜がクロムを含有し、前記導電膜に高電圧を印加して導電膜内に存在するクロムを単結晶タンタル酸リチウム基板内に拡散せしめる。

請求項（抜粋）：

Z面を主要対向面に持つ単結晶タンタル酸リチウム基板の表裏両面に導電膜を対向させて赤外線感受部を形成した焦電型赤外線検知素子において、前記単結晶タンタル酸リチウム基板にクロムが添加されていることを特徴とする焦電型赤外線検知素子。

引用特許：

審査官引用 (1件)

焦電検出器の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-321014 出願人：株式会社堀場製作所

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