特許

J-GLOBAL ID：200903050716735845

インピーダンス整合装置およびそれを用いた半導体製造装置

発明者： 神崎 直人
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所 ,  日立東京エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-310216
公開番号（公開出願番号）：特開平9-153707
出願日： 1995年11月29日
公開日（公表日）： 1997年06月10日
要約：

【要約】【課題】 マイクロ波発振器のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの整合をより短時間で取ることのできるインピーダンス整合装置を提供する。【解決手段】 マイクロ波を真空処理室に案内する伝送導波管40に対して直交し、且つ相互に直交して取り付けられた第1および第2の整合導波管11a,11bを有するインピーダンス整合装置10である。第1の整合導波管11a内には、伝送導波管40を挟んで相互に接近離反移動可能とされた第1および第2のE面可動短絡片12a,12bが対向して設けられている。また、第2の整合導波管11b内には、同様に伝送導波管40を挟んで相互に接近離反移動可能とされた第1および第2のH面可動短絡片13a,13bが対向して設けられている。

請求項（抜粋）：

マイクロ波発振器のインピーダンスと負荷側のインピーダンスとの整合を取るインピーダンス整合装置であって、マイクロ波を負荷に案内する伝送導波管に対して直交し、且つ相互に直交して取り付けられた第1および第2の整合導波管と、前記第1の整合導波管内において対向して設けられ、前記伝送導波管を挟んで相互に接近離反移動可能とされた第1および第2のE面可動短絡片と、前記第2の整合導波管内において対向して設けられ、同様に前記伝送導波管を挟んで相互に接近離反移動可能とされた第1および第2のH面可動短絡片とを有することを特徴とするインピーダンス整合装置。

IPC (3件)：

H01P 5/04 601 ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/3065

FI (3件)：

H01P 5/04 601 Z ,  H01L 21/205 ,  H01L 21/302 B