特許
J-GLOBAL ID：200903050716829297
静電容量圧力変換装置及びそのセル
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-339256
公開番号（公開出願番号）：特開平5-264385
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1993年10月12日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 気体の圧力を測定する静電容量圧力変換装置の性能を向上させる。【構成】 平行平面コンデンサ板を包含するセルハウジング14と吸気管32とで形成されているセル12を、吸気管32のみによって外部保護カバーに接続する。セルハウジング14を大気圧の変化から隔離するように、十分な剛性を有して吸気管のみによって支持されている気密の環境的囲い体106内にセルハウジング14を収容する。平行平面コンデンサ板を、周辺がテンションリング40に接続された円形ダイアフラム36と、テンションリング40内に配置された電極ディスク38とで形成する。コンデンサ板を、テンションリング40自体よりも可撓性が大きくてテンションリング40とセルハウジングとの間にある接続部と、電極ディスク38のための取付け部とによって機械的に隔離する。
請求項（抜粋）：
気体の圧力を測定するための静電容量圧力変換装置において、外部吸気管開口部を有する外部囲い体と、前記外部囲い体の外部吸気管開口部と整合する内部吸気管開口部と、大気圧の変化に応動して本質的に変形することのないような十分の剛性とを有しておって前記外部囲い体内に配置された気密の環境的囲い体と、セルとを備えて成り、前記セルは、大気圧の変化によって変形させられることのないように前記環境的囲い体内に配置されたセルハウジングと、前記セルハウジング内に配置されたテンションリングと、周辺が前記テンションリングに接続された円形ダイアフラムと、前記テンションリングを前記セルハウジングに接続するためのテンションリング接続手段とを含んでおり、前記テンションリング接続手段は、前記セルハウジングに加えられる熱的及び機械的負荷が、前記テンションリング従ってまた前記ダイアフラムにおいてではなしに前記テンションリング接続手段において実質的に変形を生じさせるように、前記テンションリングよりも低い剛性を有しており、更に、前記テンションリング内に配置されてダイアフラムとともに平行平面コンデンサ板を形成するように位置決めされた電極ディスクと、前記電極ディスクを前記ダイアフラムに対する固定位置に保持し、及び差分熱膨張を前記電極ディスクとテンションリングとの間に生じさせるように、前記電極ディスクを前記テンションリングのみに接続するための電極ディスク接続手段と、前記外部囲い体に対する前記セルハウジングの唯一の接続体として働く吸気管とを含んでおり、前記吸気管は、一端が前記ダイアフラムと反対の側で前記セルハウジングの内部と連通し、且つ、前記環境的囲い体及び外部囲い体の内部吸気管開口部及び外部吸気管開口部を貫通しており、更に、前記セルハウジングを、前記吸気管とダイアフラムとの間で、前記ダイアフラムに隣接するダイアフラムチャンバと、前記ダイアフラムチャンバと吸気管との間に位置するバッフルチャンバとに分割するバッフル手段を含んでおり、気体は、前記ダイアフラムに到達する前に前記セルに対する熱的平衡に到達するように、前記ダイアフラムチャンバに到達する前に前記バッフルチャンバを通って流れるように構成されていることを特徴とする静電容量圧力変換装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
