特許

J-GLOBAL ID：200903050718116069

X線位置合わせ確認方法、X線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びX線検査装置

発明者： 小菅 克也
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 高月 亨
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-148439
公開番号（公開出願番号）：特開平5-322803
出願日： 1992年05月15日
公開日（公表日）： 1993年12月07日
要約：

【要約】【目的】 X線透過部とX線不透過部とがともに位置合わせ要部を構成している場合にも、X線検査によりその位置合わせ確認、及び必要に応じて位置合わせ制御を行うことができるX線位置合わせ確認方法、X線位置合わせ確認・位置合わせ方法、及びX線検査装置を提供すること。【構成】 ?@被検体1のX線像と、被検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行うことを可能とし、あるいは更にX線像と前記可視光像との重ね合わせデータにより位置合わせ制御を行う制御手段を設けたX線位置合わせ確認(位置合わせ)方法。?A被検体にX線を照射するX線光源と、被検体に可視光を照射する可視光源とを備え、被検体のX線像と被検体の可視光像とを重ね合わせ表示する表示手段を設け、あるいは更に被検体の位置合わせ制御を行う制御手段を設けたX線検査装置。

請求項（抜粋）：

X線により被検体の位置合わせ確認を行うX線位置合わせ確認方法であって、被検体のX線像と、被検体の可視光像とを重ね合わせて位置合わせ確認を行うことを可能としたX線位置合わせ確認方法。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  G01B 15/00

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-052246
  
• 特開昭56-126751
  
• 特公昭59-053500
  
• 特公昭41-004235