特許
J-GLOBAL ID：200903050719193970
光計測装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
粟野 重孝
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-347369
公開番号（公開出願番号）：特開平9-166414
出願日： 1995年12月14日
公開日（公表日）： 1997年06月24日
要約：
【要約】【課題】 簡単な構成により、レーザおよび光学経路上の揺らぎの影響を排除し、高精度に測定できる光測定装置を提供する。【解決手段】 電源4による注入電流制御で発振周波数変調されたレーザ1の出力光をレンズ2およびアイソレータ3を介してビームスプリッタ5に入力し、path1による第1のハーフミラー6からの反射光とpath2による第2のハーフミラー7からの反射光とpath3による被測定物体11からの反射光とを光検出器8で検出し、前記3つの反射光の光干渉によるビート周波数信号を周波数検出器9で検出し、信号処理手段10により3つのビート周波数から被測定物体11までの距離を算出する。3つの周波数情報により、発振周波数変調の変化率および光速を消去して揺らぎの影響を排除し、高精度に距離を測定することができる。なお、第1、第2のハーフミラーに代えて両面で反射透過を行うレンズを用いる手段、ビームスプリッタに代えて偏光ビームスプリッタと1/4波長板を用いた手段も含む。
請求項（抜粋）：
半導体レーザと、前記半導体レーザを駆動する電源と、前記半導体レーザの発振光を平行ビームに変換するレンズと、前記平行ビームを通過させるとともに戻り光を遮断するアイソレータと、前記アイソレータからの光を分割するビームスプリッタと、前記ビームスプリッタからの光の一部を反射し、残りの光を通過させる第1のハーフミラーと、前記第1のハーフミラーの透過光の一部を反射し、残りの光を透過させて被測定物体に照射する第2のハーフミラーと、前記第1のハーフミラーの反射光と前記第2のハーフミラーの反射光と被測定物体の反射光とをそれぞれ前記ビームスプリッタを介して検出する光検出器と、前記光検出器により検出した信号から前記3つの反射光の光干渉による3つのビート周波数信号を検出する周波数検出器と、前記周波数検出器により検出された周波数信号を処理する信号処理手段とを備え、前記電源は前記半導体レーザの発振周波数を注入電流の制御により所定の変化率で変化させ、前記信号処理手段は前記3つのビート周波数に基づいて前記被測定物体までの距離を算出するようにした光計測装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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