特許

J-GLOBAL ID：200903050720953245

透明水蒸気バリアフィルム

発明者： 増田 篤 ,  丸山 宏典
出願人/特許権者： 住友ベークライト株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-100904
公開番号（公開出願番号）：特開2002-293971
出願日： 2001年03月30日
公開日（公表日）： 2002年10月09日
要約：

【要約】【課題】 従来よりも高透明でかつ高い水蒸気バリア性能を持つフィルムおよびその作成方法を提供する。【解決手段】 水蒸気バリア性が0.01g/m2/day未満の透明フィルムを提供するが、その製造方法のひとつとして真空槽内に放電ガスと反応ガスとを導入して放電を行い、プラスチック基材の少なくとも片面に、反応性スパッタリング装置により、放電ガスと反応ガスの導入量があわせて0.03〜0.1Paで、反応ガスと放電ガスの比率(反応ガス圧/放電ガス圧)が0.1〜9の範囲で無機層が成膜され、その上に有機層が積層する方法を用いるものである。

請求項（抜粋）：

ガスクロマトグラフィー検出式ガス透過度測定装置により測定した水蒸気透過度が0.01g/m2/day未満である透明フィルム。

IPC (4件)：

C08J 7/06 CEZ ,  B32B 9/00 ,  B32B 27/00 ,  C08L 81:06

FI (4件)：

C08J 7/06 CEZ Z ,  B32B 9/00 A ,  B32B 27/00 A ,  C08L 81:06

Fターム (34件)：

4F006AA40 ,  4F006AB76 ,  4F006BA05 ,  4F006CA07 ,  4F006CA08 ,  4F006DA01 ,  4F006DA04 ,  4F100AA01B ,  4F100AA12B ,  4F100AA20B ,  4F100AH02 ,  4F100AH06 ,  4F100AK01A ,  4F100AK24D ,  4F100AK54A ,  4F100AK54J ,  4F100AK55A ,  4F100AK55J ,  4F100AL01A ,  4F100AL05D ,  4F100AR00C ,  4F100BA04 ,  4F100BA07 ,  4F100BA10A ,  4F100BA10D ,  4F100EH46 ,  4F100EH66B ,  4F100EJ08 ,  4F100EJ54 ,  4F100GB15 ,  4F100GB41 ,  4F100JD04 ,  4F100JN01 ,  4F100JN01A

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 有機EL素子に用いるフィルム及び有機EL装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-060446   出願人：株式会社日立製作所
• ガスバリア性フィルムの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-152241   出願人：日本合成化学工業株式会社