特許

J-GLOBAL ID：200903050725584612

砥石検査装置

発明者： 道本 隆裕
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 木内 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-359669
公開番号（公開出願番号）：特開2006-170643
出願日： 2004年12月13日
公開日（公表日）： 2006年06月29日
要約：

【課題】 砥石の表面を簡易かつ高精度に評価できる砥石検査装置を提供する。 【解決手段】 砥石5の表面の異なる高さ位置における輝度データ及び高さデータを画像入力装置10で取得する。画像解析装置20では画像入力装置10で取得されたデータに基いて、砥石5の表面の異なる高さ位置における砥粒占有率や砥粒数量を演算する。この砥粒占有率や砥粒数量に基づいて砥石5の評価を行う。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

砥石表面の異なる高さ位置における輝度データ及び高さデータを取得する画像データ取得手段と、 この手段によって取得されたデータに基いて、前記砥石表面の異なる高さ位置における砥粒占有率及び砥粒数量の少なくとも1つを演算する演算手段と を備えていることを特徴とする砥石検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/28 ,  B24D 3/06 ,  G01B 11/30 ,  G01N 15/02

FI (4件)：

G01B11/28 Z ,  B24D3/06 B ,  G01B11/30 102Z ,  G01N15/02 Z

Fターム (17件)：

2F065AA24 ,  2F065AA58 ,  2F065BB05 ,  2F065CC00 ,  2F065FF10 ,  2F065FF41 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ09 ,  2F065JJ26 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ51 ,  2F065RR06 ,  3C063AA02 ,  3C063BB02 ,  3C063BC02 ,  3C063CC14

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 特開平4-118506号公報