特許
J-GLOBAL ID：200903050731962122
荷電粒子ビーム露光方法及び装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 忠彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-081448
公開番号（公開出願番号）：特開平8-279450
出願日： 1995年04月06日
公開日（公表日）： 1996年10月22日
要約：
【要約】【目的】 本発明は、荷電粒子ビーム露光方法及び装置に関し、装置異常の発生が荷電粒子ビーム露光装置の稼働時に確実に検出できると共に、たとえ頻度の少ない装置異常であってもその原因を早く特定できるようにすることを目的とする。【構成】 各々が露光するべきパターンに関するデータを発生するパターン発生手段と、前記パターン発生手段からのデータに基づいて荷電粒子ビームを偏向してステージ上の被露光物にパターンを露光するコラム手段とを有し、夫々が同時に同一パターンを露光する複数の露光系統を備えた荷電粒子ビーム露光装置において、前記複数の露光系統の対応する部分から得られるデータに基づいて装置異常を露光動作中に検出するステップを備えるように構成する。
請求項（抜粋）：
各々が露光するべきパターンに関するデータを発生するパターン発生手段と、該パターン発生手段からのデータに基づいて荷電粒子ビームを偏向してステージ上の被露光物にパターンを露光するコラム手段とを有し、夫々が同時に同一パターンを露光する複数の露光系統を備えた荷電粒子ビーム露光装置において、該複数の露光系統の対応する部分から得られるデータに基づいて装置異常を露光動作中に検出するステップを備えた、荷電粒子ビーム露光方法。
FI (3件)：
H01L 21/30 541 W
, H01L 21/30 541 U
, H01L 21/30 541 Z
