特許
J-GLOBAL ID:200903050735866276

高感度多元素同時分析装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小川 勝男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-301528
公開番号(公開出願番号):特開平5-142201
出願日: 1991年11月18日
公開日(公表日): 1993年06月08日
要約:
【要約】【目的】無機元素分析を行うすべての分野において、特に複数個の元素について、どの元素がどのレベルの濃度であるか不明な未知試料を、自動的に広いダイナミックレンジで測定できる高感度多元素同時分析装置を提供する。【構成】イオン通過率をコントロールする手段とイオン通過率の制御条件を記憶するメモリ231を有し、予備スキャンをして未知試料の各元素毎の濃度レベルの情報をメモリ231へ記憶した後に、記憶した濃度レベルに従って各元素のイオン透過率を制御して測定する。【効果】低濃度元素と高濃度元素の混在した未知試料を自動的に広いダイナミックレンジで測定することができる。
請求項(抜粋):
試料を構成する各種原子を、分解・解離さらにイオン化する手段を有し、イオン化された各元素を質量分析計に導き、2次電子増倍管を用いて検出し、パルスカウンティング法を用いて到達イオン数を計数することにより、該試料中に存在する元素濃度を測定する元素分析装置において、イオン化された段階より該2次電子増倍管に到るイオン通過経路の条件を元素毎にコントロールする手段と元素毎に該イオン通過率の制御条件を記憶する手段を有し、測定前に予備の測定を行い、各元素の濃度の情報を収集し、該イオン透過率の制御条件記憶手段へ登録した後に該記憶手段の情報により、イオン透過率を各元素毎に制御して測定することで、低濃度元素,高濃度元素の混在した未知試料を自動的に広いダイナミックレンジで測定できることを特徴とする高感度多元素同時分析装置。
IPC (2件):
G01N 27/62 ,  H01J 49/26

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