特許
J-GLOBAL ID：200903050737286820
収納容器からの半導体ウエーハ取り出し方法と装置並びに半導体ウエーハのアライメント方法と装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
和田 昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-036488
公開番号（公開出願番号）：特開2002-246433
出願日： 2001年02月14日
公開日（公表日）： 2002年08月30日
要約：
【要約】【課題】 大径化及び薄型化した半導体ウエーハに対応する収納容器からの半導体ウエーハの取り出しが自動的に行え、しかも、取り出した半導体ウエーハのセンタリングが高精度に行える半導体ウエーハ取り出し方法を提供する。【解決手段】 載置部13で収納容器2を傾斜させたのち水平に戻し、収納容器2内で半導体ウエーハAを片方向に寄せることにより半導体ウエーハAの位置決めを行い、この位置決め動作ごとに、ウエーハ取り出し機構15の吸着、搬送ユニット14による収納容器2内の半導体ウエーハAの取り出しと、スペーサ取り出し機構18による収納容器2内のスペーサの取り出しを自動的に交互に行う。
請求項（抜粋）：
半導体ウエーハとスペーサを交互に積み重ねて収納した収納容器の載置部と、半導体ウエーハの吸着、搬送ユニットが上下動と水平動及び載置部上の収納容器に対する進退動が自在となるウエーハ取り出し機構と、スペーサ吸着、搬送体が上下動と載置部上の収納容器に対する進退動が自在となるスペーサ取り出し機構とを用い、上記載置部は、収納容器を傾斜させたのち水平に戻し、収納容器内で半導体ウエーハを片方向に寄せることにより半導体ウエーハの位置決めを行い、この位置決め動作ごとに、ウエーハ取り出し機構による収納容器内の半導体ウエーハの取り出しと、スペーサ取り出し機構による収納容器内のスペーサの取り出しを交互に行い、上記ウエーハ取り出し機構は、吸着、搬送ユニットを収納容器の直上に同軸芯状態となるよう臨み、この吸着、搬送ユニットが下降して収納容器内で水平移動することにより半導体ウエーハと芯合わせした状態で最上部半導体ウエーハを吸着し、吸着後に収納容器と同軸芯状となるよう水平移動して上昇することで収納容器内の半導体ウエーハを取り出し、また、スペーサ取り出し機構は、吸着、搬送体が収納容器の直上で下降して最上部スペーサを吸着し、吸着後に上昇することで収納容器内のスペーサを取り出すことを特徴とする収納容器からの半導体ウエーハ取り出し方法。
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/68 F
5F031CA02
, 5F031CA20
, 5F031DA01
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA18
, 5F031FA22
, 5F031GA24
, 5F031GA25
, 5F031GA35
, 5F031GA49
, 5F031JA36
, 5F031KA11
, 5F031KA15
, 5F031MA34
, 5F031PA18
