特許
J-GLOBAL ID：200903050738959801
マイクロ波励起光源装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中井 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-079807
公開番号（公開出願番号）：特開平7-263161
出願日： 1994年03月25日
公開日（公表日）： 1995年10月13日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 直線的または平面的に均一な照射に好適なマイクロ波励起光源装置を得る。【構成】 マイクロ波電源12と、マイクロ波電源12から出力されたマイクロ波を導入する矩形導波管13と、矩形導波管13に導入されたマイクロ波により誘導放電を生じ発光する無電極ランプ16とを具備したマイクロ波励起光源装置において、無電極ランプ16をランプ室14に収納し、ランプ室14は、直方体状を呈した1つの面を開口した電力供給口と、網状に形成した面とが設けられると共に、マイクロ波の進行波のみを伝搬させるように、1つの面と対向する面全体を開口したマイクロ波導波路の終端部にダミーロード15が設けられ、無電極ランプ16は、電力供給口と平行な位置に沿って配設されたことを特徴とする。
請求項（抜粋）：
マイクロ波電源と、前記マイクロ波電源から出力されたマイクロ波を導入する矩形導波管と、前記矩形導波管に導入されたマイクロ波により誘導放電を生じ発光する無電極ランプとを具備したマイクロ波励起光源装置において、前記無電極ランプをランプ室に収納し、前記ランプ室は、直方体状を呈した1つの面を開口した電力供給口と、網状に形成した面とが設けられると共に、マイクロ波の進行波のみを伝搬させるように、前記1つの面と対向する面全体を開口したマイクロ波導波路の終端部にダミーロードが設けられ、前記無電極ランプは、前記電力供給口と平行な位置に沿って配設されたマイクロ波励起光源装置。
IPC (3件)：
H05B 41/24
, F21S 1/00
, H01J 65/04
