特許
J-GLOBAL ID：200903050740963034
透孔寸法測定装置用照明装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
五十嵐 孝雄 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-203920
公開番号（公開出願番号）：特開平5-026617
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年02月02日
要約：
【要約】【目的】 板状体の表面の凹凸に係わらずに精度の良い寸法測定を実現できる照明装置を提供する。【構成】 対物レンズ309を通して第1の照明光IL1をシャドウマスクSM上に照射する第1の照明光学系と、第1の照明光の光路の周囲からシャドウマスクSMを照射する第2の照明光学系とを設ける。第2の照明光学系では、投光リング303から下方に出射された照明光IL2を同心円筒形の導光部308の内部に導き、導光部308の下端の開口部からシャドウマスクSMに向けて照明光IL2を放射状に出射する。導光部308の下端の開口部は、面状の光放射部として機能する。
請求項（抜粋）：
複数の透孔が形成された板状体を顕微鏡で観察しつつ、複数の透孔に関する寸法を測定する装置に用いる照明装置であって、前記顕微鏡の対物レンズを通る第1の照明光によって前記板状体を照明する第1の照明光学系と、前記第1の照明光の光路の周囲において前記板状体とほぼ平行に設けられ、第2の照明光を前記板状体に向けて放射状に出射する面状の光放射部を有する第2の照明光学系と、を備えることを特徴とする透孔寸法測定装置用照明装置。
IPC (3件)：
G01B 9/04
, G01B 11/02
, G01B 11/24
