特許
J-GLOBAL ID：200903050759515539
イオン処理装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山本 惠二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-361356
公開番号（公開出願番号）：特開平6-203785
出願日： 1992年12月28日
公開日（公表日）： 1994年07月22日
要約：
【要約】【目的】 低エネルギーの電子をファラデーカップ内に導入できるようにし、それによってイオンビーム照射に伴う基板の帯電を効果的に抑制することができるようにしたイオン処理装置を提供する。【構成】 プラズマ36を生成するプラズマ生成容器22をファラデーカップ8の外に設け、引出し電極44によってプラズマ36中から電子38を引き出し、かつ減速電極54との間で引出し電源48の電圧分だけ減速して、エネルギー設定電源40の電圧によってエネルギーが定まる低エネルギーの電子38をファラデーカップ8内に導くようにした。ファラデーカップ8内には、リフレクタ電源62によって負電圧が印加され、電子38を押し返す働きをするリフレクタ電極60を設けている。
請求項（抜粋）：
基板を保持するホルダと、このホルダの上流側に設けられていて二次電子のアースへの逃げを防止するファラデーカップとを備え、このファラデーカップ内を通してイオンビームをホルダ上の基板に照射して当該基板を処理するイオン処理装置において、前記ファラデーカップの壁面の一部に設けられた孔と、この孔の外側に設けられていてプラズマを生成するプラズマ源と、このプラズマ源内のプラズマ中から電子を引き出してそれをファラデーカップの孔を通してファラデーカップ内へ導く引出し電極と、この引出し電極とファラデーカップとの間に接続されていて前者に正電圧を印加する引出し電源と、前記ファラデーカップとプラズマ源との間に接続されていて前者に正電圧を印加するエネルギー設定電源と、前記ファラデーカップ内であってその前記孔に対向する部分にファラデーカップから絶縁して設けられていて、前記孔を通してファラデーカップ内に導入された電子を押し返すリフレクタ電極と、このリフレクタ電極とファラデーカップとの間に接続されていて前者に負電圧を印加するリフレクタ電源とを備えることを特徴とするイオン処理装置。
IPC (3件)：
H01J 37/317
, C23C 14/48
, H01L 21/265
