特許
J-GLOBAL ID：200903050764445727
プラズマを用いた分析装置と方法、これに用いるインターフェース、及び、これに用いる試料導入部品
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-252409
公開番号（公開出願番号）：特開平9-097586
出願日： 1995年09月29日
公開日（公表日）： 1997年04月08日
要約：
【要約】【課題】本発明の目的は、プラズマにより試料の導入管が溶出して分析精度が低下するのを抑制し、高精度のプラズマを用いた分析を可能とすることにある。【解決手段】プラズマ10を発生させ、試料4をエアロゾール案内管41よりプラズマ10に供給して四重極マスフィルター18により分析するものにおいて、エアロゾール案内管41の先端部50をサファイアで構成した。
請求項（抜粋）：
プラズマを発生するプラズマ発生手段と、試料を前記プラズマに供給する導入通路と、前記プラズマに供給された試料を分析する分析部を有するプラズマを用いた分析装置において、前記導入通路のプラズマ側の少なくとも一部を前記導入側より耐熱温度を高く構成したことを特徴とするプラズマを用いた分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01J 49/04
, G01N 27/62 F
