特許

J-GLOBAL ID：200903050765659429

光波長可変フィルタ及びその製造方法

発明者： 野田 秀樹
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 井桁 貞一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-081211
公開番号（公開出願番号）：特開平5-281480
出願日： 1992年04月03日
公開日（公表日）： 1993年10月29日
要約：

【要約】【目的】 光波長可変フィルタ及びその製造方法に関し、結合損失が一定で、且つ透過率が変動しない光波長可変フィルタ及びその製造方法を提供することを目的とする。【構成】 直方体状の透明基板21と、選択した端部側の膜厚が漸次減少する高屈折率誘電体薄膜と低屈折率誘電体薄膜とが、交互に重層して透明基板21の表面に形成されてなる、一方の端部の膜厚が薄く他方の端部の膜厚が厚い誘電体多層膜22と、透明基板21を光路に直交する方向に微細移動する手段とを、備えた構成とする。

請求項（抜粋）：

直方体状の透明基板(21)と、一方の端部に移行するに伴い膜厚が漸次減少する高屈折率誘電体薄膜と低屈折率誘電体薄膜とが、交互に重層して該透明基板(21)の表面に形成されてなる、一方の端部の膜厚が薄く他方の端部の膜厚が厚い誘電体多層膜(22)と、該透明基板(21)を光路に直交する方向に微細移動する手段とを、備えたことを特徴とする光波長可変フィルタ。

IPC (2件)：

G02B 26/00 ,  G02B 5/28

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平3-127476
  
• 特開平2-132405
  
• 特開平2-132405