圧力センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：恩田博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-006565
公開番号（公開出願番号）：特開平10-206256
出願日： 1997年01月17日
公開日（公表日）： 1998年08月07日
要約：

【要約】【課題】保護膜等の配設を不要として感圧素子表面への結露の発生を的確に防止し、好適な感圧精度を保持することのできる圧力センサを提供する。【解決手段】ダイアフラム62の受圧面62a近傍に電極66a,66b及び、該電極66a,66bより熱伝導率の高い材料より形成された補助電極67を設ける。さらに、補助電極67の直下には微細な溝からなる水滴捕獲溝68を設ける。圧力媒体の温度が急激に下降すると、補助電極67に選択的に結露が発生し、その結露により生じた水滴は、水滴捕獲溝68の毛細管作用により能動的に同水滴捕獲溝68内に導かれ、保持される。

請求項（抜粋）：

圧力媒体より受ける圧力に感応して電気的性質に変化を生じる感圧素子と、該感圧素子の近傍に配設されるとともに、少なくとも同感圧素子より熱抵抗の小さい部材からなって結露の発生を助長する結露発生助長手段と、を備えることを特徴とする圧力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84

FI (2件)：

G01L 9/04 101 , H01L 29/84 B

前のページに戻る