特許
J-GLOBAL ID：200903050769720599
搬送処理装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-323703
公開番号（公開出願番号）：特開平6-151558
出願日： 1992年11月09日
公開日（公表日）： 1994年05月31日
要約：
【要約】【目的】 被処理体の処理前の大気汚染を防止して、製品歩留りの向上を図り、かつ、設置スペースの有効利用及び装置の小型化を図る。【構成】 搬送室4の周囲にゲートバルブ5を介して処理室1a,1b、収納室2a,2b及び前処理用収納室3を配設する。搬送室4内に、処理室1a,1b、収納室2a,2b及び前処理用収納室3内のウエハWの搬出・搬入を司る搬送手段6を配設する。処理室1a,1b、収納室2a,2b、前処理用収納室3及び搬送室4に、それぞれN2 ガス供給管7を介してN2 ガス供給源8を接続すると共に、排気管9を介して真空ポンプ10を接続する。これにより、処理室1a,1b、収納室2a,2b、前処理用収納室3及び搬送室4内をN2 ガス雰囲気として、未処理及び処理中のウエハW表面への自然酸化膜やパーティクル等の付着を防止することができる。
請求項（抜粋）：
被処理体を処理する処理室と、被処理体を収納する収納室と、前処理される被処理体を収納する前処理用収納室と、気密開閉手段を介して上記処理室、収納室及び前処理用収納室との間に配設される搬送室と、上記搬送室内に配設されて、上記処理室,収納室及び前処理用収納室内の被処理体の搬出・搬入を司る搬送手段とを具備し、上記処理室,収納室,前処理用収納室及び搬送室内を所定のガス雰囲気とすることを特徴とする搬送処理装置。
IPC (3件)：
H01L 21/68
, H01L 21/22
, H01L 21/31
