特許

J-GLOBAL ID：200903050772882435

軟磁性薄膜及びこれを用いた磁気ヘッド

発明者： 鈴木 篤 ,  井上 喜彦
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 小池 晃 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-291530
公開番号（公開出願番号）：特開2001-110011
出願日： 1999年10月13日
公開日（公表日）： 2001年04月20日
要約：

【要約】【課題】 優れた軟磁気特性と優れた耐腐食性とを両立し、さらに膜応力の低減を図る。【解決手段】 Fe、Si、Ta、Nを基本組成とする軟磁性薄膜にCuを微量添加する。この軟磁性薄膜の組成をFevSiwTaxCuyNz なる組成式で表した場合、0.65≦v/(v+w+x+y)≦0.85、0.1≦w/(v+w)≦0.3、0.02≦y/(v+w+x+y)≦0.05なる組成範囲に設定する。さらに、RuやGaを5原子%以下の割合で添加してもよい。Cuの微量添加により、優れた軟磁気特性と耐腐食性能を維持したまま膜応力が低減される。

請求項（抜粋）：

Fe、Si、Ta、Cu及びNを含んでなり、Feの組成をv原子%、Siの組成をw原子%、Taの組成をx原子%、Cuの組成をy原子%としたときに、0.65≦v/(v+w+x+y)≦0.85であることを特徴とする軟磁性薄膜。

IPC (4件)：

G11B 5/31 ,  G11B 5/127 ,  H01F 10/14 ,  H01F 41/18

FI (4件)：

G11B 5/31 C ,  G11B 5/127 F ,  H01F 10/14 ,  H01F 41/18

Fターム (18件)：

5D033BA03 ,  5D033CA06 ,  5D033DA01 ,  5D033DA03 ,  5D093AA02 ,  5D093BB05 ,  5D093BB18 ,  5D093FA09 ,  5D093FA16 ,  5D093HA01 ,  5D093HA17 ,  5D093JA01 ,  5E049AA01 ,  5E049AA09 ,  5E049BA06 ,  5E049BA12 ,  5E049EB06 ,  5E049GC01

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 軟磁性薄膜及びそれを用いた磁気ヘッド、磁気記録装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-015739   出願人：株式会社日立製作所
• 軟磁性膜
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-079546   出願人：ソニー株式会社
• 薄膜磁気ヘツド
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-216295   出願人：アルプス電気株式会社