特許

J-GLOBAL ID：200903050774023588

超音波洗浄システム

発明者： 黒川 禎明 ,  磯 明典
出願人/特許権者： 株式会社芝浦製作所
代理人 (1件)： 鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-223072
公開番号（公開出願番号）：特開平9-069506
出願日： 1995年08月31日
公開日（公表日）： 1997年03月11日
要約：

【要約】【課題】この発明は洗浄絵液に含まれる気体によって洗浄効果の低下や振動板が発熱するのを防止した超音波洗浄システムを提供することにある。【解決手段】 ワ-ク24を超音波振動が付与された洗浄液で洗浄するための超音波洗浄システムにおいて、上記洗浄液の供給源1と、この供給源に一端が接続された供給管路2と、この供給管路の他端に接続され上記供給源から供給された洗浄液に超音波振動を付与してから上記ワ-クに向けて噴射する超音波印加ノズル装置14と、上記供給管路の中途部に設けられ上記超音波印加ノズル装置へ供給される洗浄液に含まれる気体を除去する脱気装置4とを具備したことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

ワ-クを超音波振動が付与された洗浄液で洗浄するための超音波洗浄システムにおいて、上記洗浄液に含まれる気体を除去してからその洗浄液に超音波振動を付与することを特徴とする超音波洗浄システム。

IPC (2件)：

H01L 21/304 341 ,  B08B 3/12

FI (2件)：

H01L 21/304 341 M ,  B08B 3/12 Z

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 超音波洗浄装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-215593   出願人：東レ株式会社
• 特開平3-288581