特許
J-GLOBAL ID：200903050778610020
処理物搬送装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-290359
公開番号（公開出願番号）：特開平5-102001
出願日： 1991年10月11日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：
【要約】【目的】 搬送対象となる処理物(例えばウエハ)とジョブ及び処理結果等のウエハ情報を一体化させることにより、ウエハとウエハ情報とを同時に移動させ、あらゆる場合において処理の矛盾を発生させずにウエハを自動的に搬送する機能を備えたウエハ搬送装置を提供する。【構成】 半導体露光装置1に対し処理物を受け渡しする搬送装置であって、処理物3に関する情報を該処理物3に記録し、該情報を処理物3と同時に前記半導体露光装置1に対し受け渡しするための情報交換手段を具備する。
請求項（抜粋）：
半導体露光装置に対し処理物を受渡しする搬送装置であって、処理物に関する情報を該処理物に記録し、該情報を処理物と同時に前記半導体露光装置に対し受渡しするための情報交換手段を具備したことを特徴とする半導体露光装置用処理物搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
