特許
J-GLOBAL ID：200903050780051208
研磨用パッドおよびそれを用いた研磨方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
泉名 謙治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-298016
公開番号（公開出願番号）：特開平6-114742
出願日： 1992年10月09日
公開日（公表日）： 1994年04月26日
要約：
【要約】【目的】初期の研磨力が高く、また、この研磨力を長時間持続させるとともに、目づまりのない研磨用パッドを得る。【構成】研磨用パッド1の母地10は、研磨材粒子30を40重量%の割合で含有しており、スラリー中の砥粒を捕獲するための発泡気孔20を有するとともにブロック状に成形された研磨用パッド1となっている。
請求項（抜粋）：
あらかじめ母地に研磨材粒子が含有され、砥粒を含むスラリーを供給する穴および溝を有してなる研磨用パッドにおいて、含有される研磨材粒子の含有量が40〜50重量%であることを特徴とする研磨用パッド。
IPC (2件)：
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