特許
J-GLOBAL ID：200903050797624287
ウェーハ収納容器の係止構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
志賀 正武 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-120537
公開番号（公開出願番号）：特開平9-306982
出願日： 1996年05月15日
公開日（公表日）： 1997年11月28日
要約：
【要約】【課題】 上蓋と外箱本体との接合部の係止強度が高く、密封性の向上する、ウェーハ収納容器の係止構造を提供する。【解決手段】 ウェーハ収納容器は、ウェーハW、若しくはウェーハWを収容した内箱33を収容する外箱本体5と、外箱本体5の上部に被せられて接合される上蓋4とからなる。上蓋4を外箱本体5に係止するための係止機構Aは、ウェーハ収納容器の相対向する部位に一対設けられている。上蓋4の下端に側方に突出した突出部4eが形成されており、外箱本体5に一端部が回動自在に支持され、かつ他端部が上蓋4の前記突出部4eに係止可能な第1のフック部材9と、第1のフック部材9の前記他端部に一端部が回動自在に支持され、かつ他端部で上蓋4の天板部4cに係止可能な第2のフック部材10とを備えている。本例では、ダブルフック形態なので、上蓋4と外箱本体5との接合部の係止強度は高い。
請求項（抜粋）：
ウェーハ、若しくはウェーハを収容した内箱を収容する外箱本体と、前記外箱本体の上部に被せられて接合される上蓋とからなるウェーハ収納容器において、前記ウェーハ収納容器の相対向する部位に少なくとも一対設けられて、前記外箱本体に前記上蓋を係止したり該係止を解除するための係止構造であって、前記上蓋の下端に側方に突出した突出部が形成されており、前記外箱本体に一端部が回動自在に支持され、かつ他端部が前記上蓋の前記突出部に係止可能な第1のフック部材と、前記第1のフック部材の前記他端部に一端部が回動自在に支持され、かつ他端部で前記上蓋の天板部に係止可能な第2のフック部材とを備えていることを特徴とするウェーハ収納容器の係止構造。
IPC (4件)：
H01L 21/68
, B65D 43/02
, B65D 45/34
, B65D 85/86
H01L 21/68 T
, B65D 43/02 B
, B65D 45/34
, B65D 85/38 R
