特許
J-GLOBAL ID：200903050797641742
ダイシング装置及びダイシング方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-328255
公開番号（公開出願番号）：特開平7-241841
出願日： 1994年12月28日
公開日（公表日）： 1995年09月19日
要約：
【要約】【目的】 被切断物や刃具の種類に係わらず、最適な切断条件での切断加工をオペレータの経験に左右されずに確実に行うことができるダイシング装置及びダイシング方法を提供する。【構成】 スピンドルモータ20によって回転する刃具18をウエハ10に切り込ませ、テーブル駆動用モータ16によって加工テーブル12を水平移動させることでウエハ10の切断加工を行う。この時スピンドルモータ20にインバータ22によって供給される駆動電力は、電力検出器26によって検出され、この検出値がA/D変換器28を介してNC装置30に供給される。NC装置30は、モータドライバ14に所定の制御信号を供給することで、電力検出器26からの検出値が予め記憶された適正電力値になるように加工テーブル12の移動速度を制御する。
請求項（抜粋）：
被切断物(10)が固定される加工テーブル(12)と、前記被切断物(10)を切断加工する刃具(18)が回転軸(19)に固定されるスピンドルモータ(20)と、このスピンドルモータ(20)と前記加工テーブル(12)との相対位置を切断方向に変化させる移動手段(16)と、前記スピンドルモータ(20)の駆動電力を検出する電力検出手段(26)と、この電力検出手段(26)で検出された駆動電力に応じて前記移動手段(16)による移動速度と前記スピンドルモータ(20)による前記刃具(18)の回転速度の少なくとも一方を変化させる制御手段(30)とを具備することを特徴とするダイシング装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/78 F
, H01L 21/78 Q
