特許

J-GLOBAL ID：200903050808880574

洗浄水の製造方法

発明者： 柴野 佳英
出願人/特許権者： 柴野 佳英
代理人 (1件)： 佐藤 辰彦 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-294272
公開番号（公開出願番号）：特開平6-142501
出願日： 1992年11月02日
公開日（公表日）： 1994年05月24日
要約：

【要約】【目的】シリコンウエハなどの撥水性材料の微小孔部も洗浄できる洗浄水の製造方法を提供する。【構成】密封容器5に脱気した超純水9を供給し、密封容器5を水槽3に供給された脱気水4に浸漬する。密封容器5内を排気して減圧する。超音波振動子2を作動させて脱気水4に超音波を放射すると、空気と接触しない状態にある超純水9に密封容器5を介して超音波が作用し、超純水9中に発生したキャビテーションによりクラスターが分解され、表面張力が低減された洗浄水9が得られる。

請求項（抜粋）：

脱気した水に該水が空気と接触しない状態で超音波を放射する工程を備えてなることを特徴とする洗浄水の製造方法。