特許
J-GLOBAL ID:200903050810913412

近接視野顕微鏡

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 光石 俊郎
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平3-295395
公開番号(公開出願番号):特開平5-134189
出願日: 1991年11月12日
公開日(公表日): 1993年05月28日
要約:
【要約】【目的】 汎用性があり、高空間分解能観測が可能な近接視野顕微鏡を提供する。【構成】 光検出器4の受光部分である光ピックアップ部1側に光源9を配置し、シンセサイザ11の信号と同期して試料走査機構の駆動回路10を介して一定周期でテーブル8を移動することにより、光ピックアップ部1で試料7との相対位置を変化させ、この相対位置変化に同期して周期的に変化する信号成分のみを信号検出手段6により取り出す。
請求項(抜粋):
検出器の受光部分の直径及び試料と受光部分との間隔の両者が光の波長より小さい近接視野顕微鏡において、光源を試料に対して受光部分側に配置してあり、且つ検出器の受光部分と試料との相対位置を一定の周期で変化させる相対位置変化手段と、検出信号のうち当該相対位置変化手段による相対位置変化に同期して周期的に変化する信号成分を取り出す信号検出手段とを有することを特徴とする近接視野顕微鏡。
IPC (2件):
G02B 21/00 ,  G01B 9/04

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