特許

J-GLOBAL ID：200903050817691725

三次元測定装置

発明者： 木村 紀夫
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 日比谷 征彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-054471
公開番号（公開出願番号）：特開2002-257511
出願日： 2001年02月28日
公開日（公表日）： 2002年09月11日
要約：

【要約】【課題】 被測定物の急峻な面をも三次元測定可能とする。【解決手段】 ベース1の上にステッピングモータにより回転可能に設けたXθ、Yθステージ2、3と、Yθステージ3の上に手動ダイヤルにより直線移動可能に設けたX、Yステージ4、5と、Yステージ5の上に位置して球面レンズWを載置するスペーサ6と、球面レンズWの表面の三次元形状を測定する光プローブ部7を有する測定器8と、ステッピングモータと測定器8を制御するコンピュータ10とを具備する。Xθ、Yθステージ2、3の回転中心を共有させ、この共有回転中心と球面レンズWの球面中心とが一定の関係になるようにXステージ4、Yステージ5及びスペーサ6の厚さを設定する。Xθ、Yθステージ2、3を駆動して球面レンズWのXθ、Yθ、Z座標値を取得し、これらのXθ、Yθ、Z座標値をX、Y、Z座標軸の座標値に変換し、球面近似式から得た曲率成分を除去して表示する。

請求項（抜粋）：

Xθ、Yθ方向に回転するXθ、Yθステージと、これらのXθ、Yθステージをそれぞれ微駆動する第1の駆動手段と、前記Xθ、Yθステージの上でX、Y方向に移動するX、Yステージと、球面を有する被測定物を前記X、Yステージの上に固定する固定具と、前記X、Yステージをそれぞれ微駆動する第2の駆動手段と、被測定物の表面の三次元座標値を測定する光プローブと、前記第1の駆動手段と前記光プローブを制御すると共に信号を演算処理するコンピュータとを具備する三次元測定装置であって、前記Xθ、Yθステージのそれぞれの回転中心を共有回転中心とし、前記光プローブの光軸を前記共有回転中心に通し、前記Xθ、Yθステージと前記X、Yステージと前記固定具とを一定のアルゴリズムに基づく関係に設定し、前記コンピュータは、前記X、Yステージによって頂点位置に駆動された被測定物の頂点座標値を取得かつ基準値として記憶し、前記頂点位置を基準に前記Xθ、Yθステージを駆動して被測定物を測定開始位置に駆動し、該測定開始位置から前記Xθ、Yθステージを駆動して被測定物のXθ、Yθ、Z座標値を取得かつ記憶し、前記頂点座標値を通るラインの被測定物のXθ、Yθ、Z座標値を取得し、被測定物の表面全体を測定した後に、前記頂点座標値を通るラインのXθ、Yθ、Z座標値から近似球面式を演算し、前記基準値と前記Xθ、Yθ、Z座標値とからX、Y、Z座標軸のX、Y、Z座標値に演算変換し、前記近似球面式から求めた曲率成分を前記X、Y、Z座標値から除去して表示することを特徴とする三次元測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 11/24 ,  G01B 11/25

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G01B 11/24 A ,  G01B 11/24 E

Fターム (29件)：

2F065AA04 ,  2F065AA54 ,  2F065BB07 ,  2F065CC22 ,  2F065DD00 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF06 ,  2F065FF09 ,  2F065FF10 ,  2F065FF61 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG04 ,  2F065GG12 ,  2F065HH05 ,  2F065HH06 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ26 ,  2F065SS01 ,  2F065SS03 ,  2F065SS13 ,  2F065TT02