特許
J-GLOBAL ID:200903050822506090
電子放出素子及び蛍光発光型表示器
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
大塚 秀一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-303605
公開番号(公開出願番号):特開2001-126609
出願日: 1999年10月26日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】 廉価に製造可能で又、低電圧駆動可能で高効率な電子放出能力を有する電子放出素子を提供すること。【解決手段】 ガラス基板100、カソード電極101、抵抗層102、絶縁層103及びゲート電極104が配設されると共に、開口部108内には、その周辺部よりも中央部が高く形成された金属層106上に、プラズマCVD法によってカーボンナノチューブ107が形成されている。カソード電極101とゲート電極104間に電圧を印加すると、カーボンナノチューブ107のうち、主として中央部のカーボンナノチューブから電子が放出される。
請求項(抜粋):
絶縁基板と、前記絶縁基板上に配設された第1の電極と、前記第1の電極の上方に離間して配設された第2の電極と、前記第1の電極と第2の電極の間に配設され、中央部が周辺部よりも厚く形成された金属層と、前記金属層上に形成されカーボンナノチューブ及びカーボンナノファイバのうちの少なくとも一方を含む炭素材料から成るエミッタとを備えて成ることを特徴とする電子放出素子。
IPC (3件):
H01J 1/304
, H01J 29/04
, H01J 31/12
FI (3件):
H01J 29/04
, H01J 31/12 C
, H01J 1/30 F
Fターム (10件):
5C031DD17
, 5C036EE01
, 5C036EE02
, 5C036EE14
, 5C036EF01
, 5C036EF06
, 5C036EF09
, 5C036EG12
, 5C036EH08
, 5C036EH23
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