特許

J-GLOBAL ID：200903050824796362

レーザビーム径可変装置

発明者： 浦岸 博明
出願人/特許権者： サンクス株式会社
代理人 (1件)： 後呂 和男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-363346
公開番号（公開出願番号）：特開2003-161907
出願日： 2001年11月28日
公開日（公表日）： 2003年06月06日
要約：

【要約】【課題】 装置の大型化を回避しつつ、レーザ光のビーム径を変更することが可能なレーザビーム径可変装置を提供する。【解決手段】 線幅がX2 に設定変更されると、各ミラー15〜18は図中で破線で示した角度に回動され、第1及び第2の反射ミラー15,16の回動角度に応じて放射レーザ光L2 が一方の平行ミラー12に入射する入射角度が変わり、両平行ミラー12,12間で2回反射を繰り返して光軸調整反射手段14側へ出射される。即ち線幅X1 に設定したときに比べて反射回数が減少した分だけ一対の平行ミラー12,12間に入射して出射されるまでの光路長が短くなり、これに応じて光軸調整反射手段14側に出射される放射レーザ光L2 の光束の径が小さくなる。

請求項（抜粋）：

レーザ発生装置から出射されるレーザ光のビーム径を変更するレーザビーム径可変装置であって、非平行レーザ光を出射するレーザ発生手段と、互いに対向して配される一対の反射ミラーを備えてなり、それらの一対の反射ミラーのうちいずれか一方の反射面に対して、前記レーザ発生手段からのレーザ光が非垂直方向から入射するよう配置され、当該レーザ光を前記両反射ミラー間で反射させて出射するレーザ光反射手段と、前記レーザ発生手段からのレーザ光が前記反射ミラーに入射する入射角度を変更する入射角度変更手段と、前記レーザ光反射手段から出射されたレーザ光を、所定の光軸上を通るように反射させる光軸調整反射手段とを備えたことを特徴とするレーザビーム径可変装置。

IPC (3件)：

G02B 27/09 ,  B23K 26/06 ,  H01S 3/00

FI (3件)：

B23K 26/06 Z ,  H01S 3/00 B ,  G02B 27/00 E

Fターム (8件)：

4E068CA05 ,  4E068CB08 ,  4E068CD12 ,  5F072JJ20 ,  5F072KK05 ,  5F072KK30 ,  5F072MM08 ,  5F072YY07