特許
J-GLOBAL ID：200903050824804608
マスタリング製造方法と製造装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-311512
公開番号（公開出願番号）：特開平10-154358
出願日： 1996年11月22日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：
【要約】【課題】 光ディスク等の高密度記録原盤を作るマスタリング装置において、高品質でメンテナンス性の良い構成を提供することを目的とする。【解決手段】 マガジン供給部2、完成品収納部14、とその他の洗浄から導電化処理までの処理部を作成手順とは無関係に横並び状に配置し、搬送ロボット20を各処理部の側方に平行直線状に配置し、各処理部の上部には清浄空気発生部26を設け、各処理部および搬送ロボット20を制御装置25により作動させて、ディスク基板の表面に高密度記録原盤を作製する。
請求項（抜粋）：
ディスク基板を洗浄し、レジストをディスク基板の表面に形成し、形成されたレジスト層に記録し、現像し、導電化処理する各処理部を設け、前記各処理部の側方に何れの処理部に対してもディスク基板を搬入搬出できる単一の搬送ロボットを設けたマスタリング製造装置。
引用特許：
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