特許

J-GLOBAL ID：200903050829348384

光学式表面粗度計

発明者： 大門 正博 ,  俵口 隆雄
出願人/特許権者： 新日本製鐵株式会社
代理人 (1件)： 國分 孝悦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-123522
公開番号（公開出願番号）：特開平6-307840
出願日： 1993年04月27日
公開日（公表日）： 1994年11月04日
要約：

【要約】【目的】 金属の圧延やメッキ工程等のオンラインで用いる表面の粗さや凹凸を非接触で測定し得るように、送り速度が速い被測定面に対応可能にする。【構成】 レーザー光源1と、レーザー光源1から出射する光を測定面に向けて照射・集光する対物レンズ4と、対物レンズアクチュエーター3と、被測定面で反射した光を捕らえてレーザー光源1から出射する光とを分離し被測定面と光の焦点との距離の誤差を検知する光学系2と、光検知器と、サーボ系と、を備えている。光検知器出力61a,61bを誤差信号として演算する装置の周波数帯域を、サーボ系の周波数帯域以上の高い周波数帯域まで演算し得るようにした広帯域焦点誤差演算増幅装置27を備え、この広帯域焦点誤差演算増幅装置27の出力をサーボ用焦点誤差信号12とし、更にその出力を表面凹凸信号を出力するバンドパスフィルター29に接続したものである。

請求項（抜粋）：

レーザー光源と、該レーザー光源から出射する光を測定対象とする測定面に向けて照射し集光する対物レンズと、該対物レンズを駆動する対物レンズアクチュエーターと、被測定面で反射した光を捕らえて前記レーザー光源から出射する光とを分離し被測定面と前記光の焦点との距離の誤差を検知する光学系と、光検知器と、前記対物レンズの焦点位置と前記被測定面との距離の差をゼロとするサーボ系と、を備えて成る光学式表面粗度計において、前記光検知器出力を誤差信号として演算する装置の周波数帯域を、前記サーボ系の周波数帯域以上の高い周波数帯域まで演算し得るようにした広帯域焦点誤差演算増幅装置を備え、該広帯域焦点誤差演算増幅装置の出力をサーボ用焦点誤差信号とし、更に該出力を分岐して、表面凹凸信号を出力するバンドパスフィルターに接続したことを特徴とする光学式表面粗度計。