特許

J-GLOBAL ID：200903050829615900

ガラス基板搬送用パレット

発明者： 中沢 繁容
出願人/特許権者： 大日本印刷株式会社
代理人 (1件)： 白井 博樹 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-166314
公開番号（公開出願番号）：特開2000-353739
出願日： 1999年06月14日
公開日（公表日）： 2000年12月19日
要約：

【要約】【課題】ガラス基板の運搬コストを大幅に低減させる。【解決手段】ベース部材11と、該ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面12aを有する支持部材12と、該支持部材の両側に設けられた保持アーム15と、一対の保持アーム間に着脱自在に装着される押圧部材16と、該押圧部材に移動可能に設けられた押圧プレート22と、前記ベース部材上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体23と、前記押圧プレートに支持されて該ガラス基板積層体を保持する保護プレート24とを備え、前記ガラス基板積層体は、複数のガラス基板23aの表面および側部を保護紙23bにて覆うように積層される。

請求項（抜粋）：

ベース部材と、該ベース部材上に立設され、一方の面に傾斜面を有する支持部材と、該支持部材の両側に設けられた保持アームと、一対の保持アーム間に着脱自在に装着される押圧部材と、該押圧部材に移動可能に設けられた押圧プレートと、前記ベース部材上で前記傾斜面に支持されるガラス基板積層体と、前記押圧プレートに支持されて該ガラス基板積層体を保持する保護プレートとを備え、前記ガラス基板積層体は、複数のガラス基板の表面および側部を保護紙にて覆うように積層されていることを特徴とするガラス基板搬送用パレット。

IPC (4件)：

H01L 21/68 ,  B65D 19/44 ,  B65D 85/48 ,  B65G 49/06

FI (4件)：

H01L 21/68 V ,  B65D 19/44 D ,  B65D 85/48 ,  B65G 49/06 Z

Fターム (11件)：

3E063AA23 ,  3E063FF06 ,  3E096AA15 ,  3E096BA08 ,  3E096BA24 ,  3E096BB05 ,  5F031CA05 ,  5F031CA07 ,  5F031DA13 ,  5F031MA26 ,  5F031MA32