耐熱性ボンディングシート

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：楠本高義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-095740
公開番号（公開出願番号）：特開平9-001723
出願日： 1996年04月17日
公開日（公表日）： 1997年01月07日
要約：

【要約】【目的】充分な機械的強度を有しつつ、耐熱性、加工性、接着性に優れ、特には低吸水率、低誘電特性を示し、その他寸法安定性等の諸特性を有する耐熱性ボンディングシートを提供することを目的とする。【構成】本発明に係る耐熱性ボンディングシートは、ベースフィルムの両面に接着剤層を設けてなる三層構造を有するボンディングシートにおいて、内層の耐熱性ベースフィルムの両面に、特定の組成の耐熱性接着剤層を設けてなり、そのガラス転移温度が、ベースフィルムより低く、吸水率が1.5 %以下、また、ガラス転移温度が300°C以下の熱可塑性ポリイミド共重合体からなり、耐熱性ベースフィルムが、非熱可塑性ポリイミドフィルムであり、ガラス転移温度での貯蔵弾性率が0.1GPa以上であることが好ましい。

請求項（抜粋）：

耐熱性ベースフィルムの片面又は両面に、耐熱性接着剤層を設けたことを特徴とする耐熱性ボンディングシート。

IPC (11件)：

B32B 7/12 , B32B 7/02 105 , B32B 27/00 , B32B 27/34 , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JKD , C09J 7/02 JKP , C09J 7/02 JLE , C09J179/08 JGE , H01L 21/52 , H01L 21/68

FI (11件)：

B32B 7/12 , B32B 7/02 105 , B32B 27/00 M , B32B 27/34 , C09J 7/02 JHR , C09J 7/02 JKD , C09J 7/02 JKP , C09J 7/02 JLE , C09J179/08 JGE , H01L 21/52 E , H01L 21/68 N

引用特許：

審査官引用 (16件)

特開昭62-149437
特開昭62-149437
特開昭61-022937

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