投影露光装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-234347
公開番号（公開出願番号）：特開2003-086503
出願日： 1992年05月21日
公開日（公表日）： 2003年03月20日
要約：

【要約】【課題】高解像度かつ大焦点深度でパターンの転写が可能な投影露光装置を提供する。【解決手段】光源と照明光学系内のオプチカルインテグレータとの間に設けられ、一対の第1プリズム(20、21a)と一対の第2プリズム(21b、22)とを有し、光源からの照明光を、照明光学系の光軸と垂直な面内で、一対の第1プリズムによって調整される第1距離だけ第1方向に関して光軸から離れ、かつ一対の第2プリズムによって調整される第2距離だけ第2方向に関して光軸から離れる4本の光束に分割して射出するとともに、照明光の光束径を可変とするズームレンズ系を含む光束分割光学系を設け、一対の第1プリズムと一対の第2プリズムとの少なくとも一方の間隔を変更して第1距離と第2距離との一方を他方とは独立に調整する。

請求項（抜粋）：

光源からの照明光をマスクに照射する照明光学系と、前記照明光を感光基板上に投射する投影光学系とを備えた投影露光装置において、前記光源と前記照明光学系内のオプチカルインテグレータとの間に設けられるとともに、前記照明光学系の光軸と直交する第1及び第2方向のうち、前記第2方向に関してほぼ対称にV型斜面が配置され、前記照明光学系の光軸方向に関する間隔が可変な一対の第1プリズムと、前記第1方向に関してほぼ対称にV型斜面が配置され、前記光軸方向に関する間隔が可変な一対の第2プリズムとを有し、前記光源からの照明光を、前記照明光学系の光軸と垂直な面内で、前記一対の第1プリズムによって調整される第1距離だけ前記第1方向に関して前記光軸から離れ、かつ前記一対の第2プリズムによって調整される第2距離だけ前記第2方向に関して前記光軸から離れる4本の光束に分割して射出するとともに、前記照明光の光束径を可変とするズームレンズ系を含む光束分割光学系と、前記感光基板上に転写すべきパターンに応じて、前記照明光学系の瞳面上で前記光束分割光学系から射出される照明光が分布する領域を設定するために前記光束分割光学系を調整するとともに、前記照明光学系の瞳面上で光軸外に前記領域を設定するとき、前記一対の第1プリズムと前記一対の第2プリズムとの少なくとも一方の間隔を変更して、前記第1距離と前記第2距離との一方を他方とは独立に調整する調整手段とを備えることを特徴とする投影露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 , G02B 13/24 , G03F 7/20 521

FI (3件)：

G02B 13/24 , G03F 7/20 521 , H01L 21/30 515 D

Fターム (13件)：

2H087KA21 , 2H087LA21 , 2H087LA24 , 2H087RA41 , 2H087RA42 , 2H087TA01 , 2H087TA02 , 5F046BA04 , 5F046CB10 , 5F046CB12 , 5F046CB13 , 5F046CB23 , 5F046DA01

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