導波路型光部品の製造方法

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：長門侃二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-184658
公開番号（公開出願番号）：特開平5-027132
出願日： 1991年07月24日
公開日（公表日）： 1993年02月05日
要約：

【要約】【目的】伝搬損失が小さい導波路型光部品を提供する。【構成】基板1の上に石英ガラスから成る下部クラッド部2を形成し、前記下部クラッド部2の表面に、帯電防止層と所望パターンを有するマスク層とをこの順序で形成し、前記マスク層の上から電子ビームを照射して、前記下部クラッド部2内に前記所望パターンのコア部6を形成し、前記マスク層と前記帯電防止層を除去して前記下部クラッド部2の表面を露出させ、更に、前記下部クラッド部2の露出面の上に、前記コア部6よりも低屈折率の上部クラッド部7を形成する導波路型光部品の製造方法。【効果】全体の表面とコア部が離れているので、表面の微小凹凸に基づく散乱損失は低減する。安価に伝搬損失の小さい導波路型光部品を製造できる。

請求項（抜粋）：

基板の上に石英ガラスから成る下部クラッド部を形成する工程;前記下部クラッド部の表面に、帯電防止層と所望パターンを有するマスク層とをこの順序で形成する工程;前記マスク層の上から電子ビームを照射して、前記下部クラッド部内に前記所望パターンのコア部を形成する工程;前記マスク層と前記帯電防止層を除去して前記下部クラッド部の表面を露出させる工程;および、前記下部クラッド部の露出面の上に、前記コア部よりも低屈折率の上部クラッド部を形成する工程;を備えていることを特徴とする導波路型光部品の製造方法。

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