特許
J-GLOBAL ID：200903050831475571
ガス吹き出し部材
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
堀 城之
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-036342
公開番号（公開出願番号）：特開2000-235954
出願日： 1999年02月15日
公開日（公表日）： 2000年08月29日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、反応生成物が付着し、堆積することを防止する技術を提供する。【解決手段】 ガス孔は、図1に示すように、直管部と、テーパー部とからなる。直管部は、流入側(ガス吹き出し板の内部側)に開設されている。テーパー部は、直管部から噴出側(下方)に向かって径が漸増するように、ガス吹き出し板の噴出側迄至っている。
請求項（抜粋）：
プラズマを用いて半導体基板を処理する半導体製造装置内の処理室に設けられる、ガス導入口から送気されたガスを噴出するガス孔を有するガス吹き出し部材であって、該ガス孔は、流入側から噴出側に向かって孔が大きくなるように形成されていることを特徴とするガス吹き出し部材。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/205
, H01L 21/31 C
5F045AA08
, 5F045DP03
, 5F045EF05
, 5F045EF07
