特許

J-GLOBAL ID：200903050831603677

赤外線センサ

発明者： 曽根 厚 ,  小松 清 ,  森 武寿 ,  木村 光照
出願人/特許権者： テルモ株式会社 ,  木村 光照
代理人 (1件)： 藤島 洋一郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-311709
公開番号（公開出願番号）：特開平6-074820
出願日： 1992年11月20日
公開日（公表日）： 1994年03月18日
要約：

【要約】【目的】 赤外線感温膜から失われる赤外線のエネルギー量を最小限に抑え、センサ感度を向上させる。【構成】 シリコン基板11には2つの空洞部14a、14bが形成されており、これら空洞部14a、14bの下部には架橋部12a、12bが形成されている。架橋部12a、12bの各中央部の下面には赤外線感温膜13a、13bが設けられている。シリコン基板11の両面には表蓋17および裏蓋22がそれぞれ高融点半田接合または陽極接合法により接合されており、赤外線感温膜13a、13bの周囲は同一真空度の状態に封止されている。

請求項（抜粋）：

空洞部を有し、この空洞部に赤外線感温膜が配設されたセンサ基板と、このセンサ基板の前記空洞部を覆い、前記赤外線感温膜の周囲を真空に封止する真空封止手段とを備えたことを特徴とする赤外線センサ。

IPC (2件)：

G01J 1/02 ,  G01J 5/02

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平4-001535
  
• 特開平3-199933
  
• 特開平1-096548