特許

J-GLOBAL ID：200903050833638575

レーザの共振器アライメント保持装置

発明者： 安田 耕三 ,  早川 明良 ,  尾角 英毅
出願人/特許権者： 川崎重工業株式会社
代理人 (1件)： 岡村 俊雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-245845
公開番号（公開出願番号）：特開平6-066542
出願日： 1992年08月22日
公開日（公表日）： 1994年03月08日
要約：

【要約】【目的】 ミラー間距離や光軸のずれ等が生じても直ぐに補正する。【構成】 熱負荷や機械的振動によってミラー5,6の面内位置および距離が変位しても、面内変位検出センサ14および距離変位検出センサ16でこれを計測して初期状態と比較し、ミラー調整機構13,15をフィードバック制御し、ミラー5,6を初期状態に補正するので、所望の波長の出力波を常に得られる。これらのセンサ14,16は光を利用したセンサであるため、正確かつ精度の高い情報が得られる。

請求項（抜粋）：

対向する一対のレーザ共振器用のミラーをレーザビームに対して直角方向へ調整変位させる面内変位調整機構と、前記ミラーのレーザビーム直角方向の面内変位を光を利用して計測するための面内変位検出センサと、この面内変位検出センサからの出力信号を初期設定値と比較しその演算結果に基いて前記面内変位調整機構に駆動制御信号を出力する制御装置とを備えたことを特徴とするレーザの共振器アライメント保持装置。

IPC (3件)：

G01B 11/26 ,  B25J 13/08 ,  H01S 3/08

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-110985
  
• 特開昭63-146479
  
• 特開平2-302083