特許

J-GLOBAL ID：200903050833754281

流体中で使用される走査型プローブ顕微鏡

発明者： リンゼー,スチュアート・エム ,  ジング,ティアンウェイ
出願人/特許権者： モレキュラー・イメージング・コーポレーション
代理人 (1件)： 社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-524378
公開番号（公開出願番号）：特表平10-511184
出願日： 1996年02月05日
公開日（公表日）： 1998年10月27日
要約：

【要約】走査型プローブ顕微鏡(100)は、電気化学的液体セル(106)を備えている。3つの支持マウント(92)がフレーム(102)から下方に伸長し、また、該マウントは試料プラットフォーム(90)が取り付けられる磁性ボール(154)を備えている。2つの止め具(94)がフレーム(102)から下方に伸長し、貫通する孔(132)に係合する。フレーム(102)に穴(194)が形成されており、スキャナ(104)をこの穴を通じて挿入しプラットフォーム(90)に乗った試料(116)に係合する。スキャナ(104)とフレーム(102)との間のOリングシール(160)によるシールにより試料(116)の周りで密閉密封されたチャンバ(112)が形成される。流体セル(106)は試料プラットフォーム(90)に取り付けられる。試料(116)及びプローブ(260)のポテンシャルの電気化学的制御によりプローブ(260)と試料(116)の表面との間の相互作用を制御する。プローブ(260)及び試料(116)を保護流体内に投入することにより、試料(116)の表面の汚染が防止される。

請求項（抜粋）：

試料の表面の性質を測定する走査型プローブ顕微鏡にして、 フレームと、少なくとも3つの可調節支持マウントにより該フレームから吊り下げられた試料ステージと、スキャナ要素であって、前記フレームに関して作用可能な位置に固定された第一の端部と、該スキャナ要素に付与される信号に応答して前記フレームに関して可動である第二の端部とを有する前記スキャナ要素と、該スキャナ要素の該第二の端部に作用可能に結合された走査プローブと、前記スキャナ要素の前記第二の端部及び前記走査プローブを密封するシールとを備える、走査型プローブ顕微鏡。

IPC (2件)：

G01N 37/00 ,  G01B 21/30

FI (2件)：

G01N 37/00 A ,  G01B 21/30 Z

引用特許：

出願人引用 (3件)

• 特開昭63-236991
  
• 特開平2-297004
  
• 走査型トンネル顕微鏡
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-266270   出願人：オリンパス光学工業株式会社