特許

J-GLOBAL ID：200903050833905867

露光装置

発明者： 森田 極 ,  奥村 好延 ,  山下 倫弘 ,  坂 昌樹 ,  巽 洋 ,  石井 洋
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 野河 信太郎
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-151552
公開番号（公開出願番号）：特開2001-328294
出願日： 2000年05月23日
公開日（公表日）： 2001年11月27日
要約：

【要約】【課題】 精度の高いバンディング抑制機構を有しかつ生産性に優れた露光装置を提供することを目的とする。【解決手段】 露光装置は、被露光部材と、被露光部材に光ビームを出射する露光手段と、露光手段に対して被露光部材を相対移動させる移動手段と、露光手段に対する被露光部材の相対移動量の誤差を補正する移動量補正手段とを備え、移動量補正手段が、前記相対移動量を検出する移動量検出部と、露光手段から被露光部材への光路中に設けられた液晶セルと、液晶セル内に所定の電界を形成する電界形成部と、移動量検出部によって検出された移動量に基づいて電界形成部を制御する電界制御部とからなる。

請求項（抜粋）：

被露光部材と、被露光部材に光ビームを出射する露光手段と、露光手段に対して被露光部材を相対移動させる移動手段と、露光手段に対する被露光部材の相対移動量の誤差を補正する移動量補正手段とを備え、移動量補正手段が、前記相対移動量を検出する移動量検出部と、露光手段から被露光部材への光路中に設けられた液晶セルと、液晶セル内に所定の電界を形成する電界形成部と、移動量検出部によって検出された移動量に基づいて電界形成部を制御する電界制御部とからなる露光装置。

IPC (4件)：

B41J 2/44 ,  G02F 1/13 505 ,  G03B 27/72 ,  G03G 15/04 111

FI (4件)：

G02F 1/13 505 ,  G03B 27/72 A ,  G03G 15/04 111 ,  B41J 3/00 D

Fターム (19件)：

2C362AA03 ,  2C362BA71 ,  2C362BA82 ,  2C362BB48 ,  2H076AB05 ,  2H076AB08 ,  2H076AB12 ,  2H076AB16 ,  2H076AB18 ,  2H076AB68 ,  2H088EA42 ,  2H088GA02 ,  2H088HA21 ,  2H088HA24 ,  2H088KA06 ,  2H088KA26 ,  2H088MA20 ,  2H110CD13 ,  2H110CD14