特許
J-GLOBAL ID：200903050837019780
超純水の製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
畑中 芳実 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-084068
公開番号（公開出願番号）：特開平7-265855
出願日： 1994年03月30日
公開日（公表日）： 1995年10月17日
要約：
【要約】【目的】 逆浸透膜装置の逆浸透膜が汚染されて透過水量が減少したときに、超純水の製造及び洗浄システムへの超純水の供給を中断させることなく逆浸透膜を洗浄して透過水量を回復させることができ、しかも洗浄薬品による膜や装置構成部材の劣化や、被処理水流路の置換操作の必要を生じさせることのない超純水の製造方法を提供する。【構成】 逆浸透膜装置を用いた超純水製造プロセスで原水を処理することにより超純水を製造し、得られた超純水で被洗浄物の洗浄を行うとともに、洗浄に使用した超純水を回収して前記逆浸透膜装置の上流側に戻し、この回収水を原水と共に超純水製造プロセスで処理するに際し、逆浸透膜装置の透過水量が所定値以下に減少したときに、逆浸透膜装置の被処理水に1〜50ppmの低濃度の還元剤を添加する。
請求項（抜粋）：
逆浸透膜装置を用いた超純水製造プロセスで原水を処理することにより超純水を製造し、得られた超純水で被洗浄物の洗浄を行うとともに、洗浄に使用した超純水を回収して前記逆浸透膜装置の上流側に戻し、この回収水を原水と共に前記超純水製造プロセスで処理する超純水の製造方法において、前記逆浸透膜装置の透過水量が所定値以下に減少したときに該逆浸透膜装置の被処理水に1〜50ppmの還元剤を添加することを特徴とする超純水の製造方法。
IPC (3件)：
C02F 1/44
, B01D 65/06
, C01B 5/00
