特許
J-GLOBAL ID：200903050837723534
基板ホルダー及びこの基板ホルダーを有するスパッタリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-274555
公開番号（公開出願番号）：特開平11-106917
出願日： 1997年10月07日
公開日（公表日）： 1999年04月20日
要約：
【要約】【課題】 本発明は、任意の形状の基板を保持できる基板ホルダー及び任意の形状の基板を保持できる基板ホルダーを有するスパッタリング装置を提供することを目的とする。【解決手段】 任意の形状の基板の表面に薄膜を形成するための基板ホルダー20であって、本体部21と、この本体部に載置される基板23をこの本体部に対して固定するための固定手段22、26と、を含んでいる、基板ホルダー。
請求項（抜粋）：
任意の形状の基板の表面に薄膜を形成するための基板ホルダーであって、本体部と、この本体部に載置される基板をこの本体部に対して固定するための固定手段と、を含んでいることを特徴とする、基板ホルダー。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C23C 14/50 F
, C23C 14/34 T
