特許
J-GLOBAL ID：200903050842862852
気相成長装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
油井 透
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-269966
公開番号（公開出願番号）：特開2009-099770
出願日： 2007年10月17日
公開日（公表日）： 2009年05月07日
要約：
【課題】簡易にサセプタの着脱を可能とし、メンテナンス性に優れた気相成長装置を提供することにある。【解決手段】略円板状のサセプタ1と、前記サセプタ1の下に配置され、前記サセプタ1を回転自在に保持する基台2と、前記サセプタ1に略同一円周上に配置された開口8に回転自在に嵌め込まれ、基板Wを保持する基板ホルダ3と、前記サセプタ1の中心と同軸上に軸心が合致するように当該サセプタ1と機械的に連結されて当該サセプタ1を中心軸駆動することで、前記基板ホルダ3を前記サセプタ1の中心の周りに公転させる中心駆動軸4と、前記サセプタ1が前記中心軸駆動されることに伴って前記基板ホルダ3を自転させる基板ホルダ駆動部5とを有する気相成長装置であって、前記中心駆動軸4と前記サセプタ1とが、互いに嵌合されるように設けられた凹部6と凸部7とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
略円板状のサセプタと、前記サセプタの下に配置され、前記サセプタを回転自在に保持する基台と、前記サセプタに略同一円周上に配置された開口に回転自在に嵌め込まれ、基板を保持する基板ホルダと、前記サセプタの中心と同軸上に軸心が合致するように当該サセプタと機械的に連結されて当該サセプタを中心軸駆動することで、前記基板ホルダを前記サセプタの中心の周りに公転させる中心駆動軸と、前記サセプタが前記中心軸駆動されることに伴って前記基板ホルダを自転させる基板ホルダ駆動部とを有する気相成長装置であって、
前記中心駆動軸と前記サセプタとが、互いに嵌合されるように設けられた凹部と凸部とを備えており、前記凹部と前記凸部との嵌合によって、前記中心駆動軸による回転駆動力を前記サセプタに伝達可能とするとともに、前記中心駆動軸と前記サセプタとを着脱可能とした
ことを特徴とする気相成長装置。
IPC (3件)：
H01L 21/205
, C23C 16/44
, C23C 16/458
H01L21/205
, C23C16/44 G
, C23C16/458
4K030BA35
, 4K030BB02
, 4K030CA04
, 4K030CA12
, 4K030FA10
, 4K030GA06
, 4K030KA02
, 4K030LA14
, 5F045AA04
, 5F045AF01
, 5F045BB03
, 5F045DP15
, 5F045DP27
, 5F045DP28
, 5F045DQ10
, 5F045EM02
