特許
J-GLOBAL ID：200903050846567618
気密検査方法及びその装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
平山 一幸 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-025000
公開番号（公開出願番号）：特開平6-221950
出願日： 1993年01月21日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：
【要約】【目的】 環境問題等において安全で、効率的な検査を実現し得る気密検査方法及び装置を提供する。【構成】 被検体3をシーリング状態でチャンバ2内にセットし、チャンバ内をクリーニングした後、被検体内に気体を封入して差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気する工程と、被検体内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合する工程と、チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌する工程と、その試料ガスをチャンバから採取して、He-リークディテクタ19によって被検体からのヘリウム漏れを検出する工程で成り、先ず被検体に対して気体を用いて差圧漏れ検査を行い、被検体に比較的大きな穴等が存在するかを判断し、次に大気圧状態にてヘリウムガスによる気密検査を行うようにした。
請求項（抜粋）：
被検体をシーリング状態でチャンバ内の所定位置にセットして、上記チャンバ内をクリーニングした後、上記被検体内に気体を封入して、差圧漏れ検査を行い、この封入気体を再び排気し、次いで、上記被検体内にヘリウムガス及び空気を所定圧力で封入・混合し、上記チャンバ内の試料ガスを一定時間、拡散・攪拌し、その試料ガスを上記チャンバから採取して、He-リークディテクタによって上記被検体からのヘリウム漏れを検出するようにしたことを特徴とする気密検査方法。
IPC (2件)：
引用特許：
審査官引用 (2件)
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特開昭59-061738
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特開昭56-143940
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