特許
J-GLOBAL ID：200903050849806753
転写用バンプ保持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山川 政樹
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-088163
公開番号（公開出願番号）：特開平8-288288
出願日： 1995年04月13日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：
【要約】【目的】 少量多品種のLSIチップに対し吸引保持式転写バンプ法によってバンプボールを転写させるに当たってコストダウンを図る。【構成】 保持板本体2にバンプボール保持用凹部6を多数並設する。この保持板本体2にマスク板3を重ねる。マスク板3にはLSIチップのバンプ転写位置と対応する部位にバンプボール位置決め穴9を開口させる。これら保持板本体2とマスク板3を支持枠4によって互いに密接した状態に保持した。
請求項（抜粋）：
バンプボールを保持板表面の多数のバンプボール保持用凹部に吸引により保持し、この保持板を半導体素子に重ねるようにして前記バンプボールを半導体素子に一括して転写する転写用バンプ保持装置において、前記保持板を、バンプボール保持用凹部が多数並設された保持板本体と、半導体素子のバンプ転写位置と対応する部位にバンプボール位置決め穴が開口され前記保持板本体のバンプボール保持用凹部側に重ねられるマスク板と、これらの保持板本体とマスク板とを密接させて支持する支持枠とから構成したことを特徴とする転写用バンプ保持装置。
FI (2件)：
H01L 21/92 604 F
, H01L 21/92 604 H
