多書込み用ビーム源を有する光学式画像化ヘッド

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小田島平吉
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-310306
公開番号（公開出願番号）：特開2001-162866
出願日： 2000年10月11日
公開日（公表日）： 2001年06月19日
要約：

【要約】【課題】高速、高品質の画像化システムを得る。【解決手段】媒体上に画像を画像化する光学式画像化ヘッドは、実質的に均一な放射の線を作るライン照明モジュール、対物面を形成し、ライン照明モジュールから放射の線を受けて変調された放射の回折次数を作る格子光弁、変調された放射を受けて画像焦点と無関係に画像倍率を調整する第1のレンズ群、第1のレンズ群から倍率調整済みの変調放射を受けテレセントリックな方法で媒体に送り画像倍率と無関係に画像焦点を調節する第2のレンズ群、及び第1及び第2のレンズ群の間に置かれ、0次回折の倍率調整済みの変調放射のみを通過させる開口を有する絞り具を備える。

請求項（抜粋）：

媒体上に画像を画像化するための光学式画像化ヘッドであって、実質的に均一な放射の線を作るためのライン照明モジュール、対物面を形成し、ライン照明モジュールから放射の線を受けそして変調された放射の回折次数を作る格子光弁、変調された放射を受けそして画像焦点と無関係に画像倍率を調整するための第1のレンズ群、第1のレンズ群から倍率の調整された変調放射を受けテレセントリックな方法で媒体に通過させるための第2のレンズ群であって、画像倍率と無関係に画像焦点を調節する前記第2のレンズ群、及び第1及び第2のレンズ群の間に置かれ、0次回折の倍率調整済みの変調放射を通過させ、そして非0次回折の倍率調整済み変調放射を阻止するための単一の開口を有する絞り具を備えた画像化ヘッド。

IPC (5件)：

B41J 2/44 , B41J 2/32 , G02B 13/22 , G02B 15/16 , G03B 27/32

FI (5件)：

G02B 13/22 , G02B 15/16 , G03B 27/32 G , B41J 3/00 M , B41J 3/20 109 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭59-206819
特開昭62-153934
変倍テレセントリック光学系
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-352985 出願人：株式会社ニコン

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