特許

J-GLOBAL ID：200903050852829454

有機エレクトロルミネッセンス表示装置並びにその製造方法及び製造装置並びにその有機エレクトロルミネッセンス表示装置を備えた電子機器

発明者： 細田 登志子 ,  四谷 真一
出願人/特許権者： セイコーエプソン株式会社
代理人 (4件)： 小林 久夫 ,  佐々木 宗治 ,  木村 三朗 ,  大村 昇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-179885
公開番号（公開出願番号）：特開2005-019090
出願日： 2003年06月24日
公開日（公表日）： 2005年01月20日
要約：

【課題】有機EL素子の各層を成す薄膜等を蒸着により成膜する際に、面内膜厚分布を均一にし、蒸着速度を安定させ、異常蒸着を起こりにくくした蒸着による製造方法、そして、その方法による質のよい有機EL表示装置、その表示装置を用いた電子機器、そしてこの方法を実現するための製造装置を提供する。【解決手段】蒸着により有機電界発光素子となる薄膜を形成する有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、同一の蒸着材料が収容されたルツボ2を蒸着装置の真空容器1内の2個所以上に配置し、各ルツボ2からの蒸着材料を基板5に蒸着させて有機エレクトロルミネッセンス表示装置を製造する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

蒸着により有機電界発光素子となる薄膜を形成する有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法において、 同一の蒸着材料が収容された蒸着源を蒸着装置の容器内の2個所以上に配置し、前記各蒸着源からの前記蒸着材料を基板に蒸着させることを特徴とした有機エレクトロルミネッセンス表示装置の製造方法。

IPC (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 ,  H05B33/14

FI (3件)：

H05B33/10 ,  C23C14/24 C ,  H05B33/14 A

Fターム (7件)：

3K007AB02 ,  3K007AB04 ,  3K007AB17 ,  3K007AB18 ,  3K007DB03 ,  3K007FA01 ,  4K029DB14